日前，2021年上海市工人先鋒號揭曉，寶山的不少集體都榜上有名，費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)就是其中之一，這支成立于2015年，成員平均年齡僅30歲的年輕團(tuán)隊(duì)，在短短幾年時(shí)間里，已實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)的難點(diǎn)突破。

費(fèi)勉儀器致力于為全球?qū)W術(shù)及研究機(jī)構(gòu)、國家重大項(xiàng)目和高端產(chǎn)業(yè)提供精密儀器裝置和整體解決方案。

目前，費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)已在真空技術(shù)、低溫技術(shù)、薄膜制備和等離子技術(shù)四大方向上都取得了可喜的成果，其中自主研發(fā)的射頻聚焦等離子技術(shù)，多個指標(biāo)也遠(yuǎn)超過國際同類產(chǎn)品，在填補(bǔ)國內(nèi)空白的同時(shí)，還實(shí)現(xiàn)了反向出口。

現(xiàn)在研發(fā)團(tuán)隊(duì)累計(jì)已申請專利130余項(xiàng)，授權(quán)40余項(xiàng)。這也讓團(tuán)隊(duì)的成員們越挫越勇，在這個大家庭中共同進(jìn)步。

公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人是80后的公司首席技術(shù)官謝斌平博士，他個人曾榮獲2014年上海自然科學(xué)一等獎，2015年國家自然科學(xué)二等獎， 2018年入選上海市青年拔尖人才計(jì)劃，2021被評為“寶山工匠”。在他的帶領(lǐng)下，團(tuán)隊(duì)完成了多項(xiàng)研發(fā)任務(wù)，在多個技術(shù)上取得突破�！拔覀冏龅臒o論是一些科學(xué)設(shè)備也好，或者一些半導(dǎo)體項(xiàng)目，一些卡脖子的項(xiàng)目，因?yàn)樽龅眠@個事情比較重要，所以說讓大家覺得做的事情很重要，然后有難度，所以現(xiàn)在這年輕人就比較容易去挑戰(zhàn)。”

費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司研發(fā)人員說：“我們現(xiàn)在做可以說是從零開始，有很多需要自己先研發(fā)，有壓力，但給我們的動力也很強(qiáng)，因?yàn)槲覀冏龀龀晒�也可以看得到，很多�?shí)際的成果運(yùn)用起來，在客戶那邊反饋很好，所以說壓力和動力是并存的。”

如果說基礎(chǔ)科研儀器的研發(fā)是為明天做準(zhǔn)備，而工業(yè)半導(dǎo)體“卡脖子”儀器設(shè)備的開發(fā)就是為了現(xiàn)在。

基于公司在科研儀器研發(fā)中形成的自有成熟技術(shù)，費(fèi)勉儀器自2020年開始了工業(yè)半導(dǎo)體裝備的研發(fā)，2020年底已向某半導(dǎo)體龍頭企業(yè)交付了國內(nèi)首套超高真空解理鍍膜裝置，目前，研發(fā)團(tuán)隊(duì)又在攻克半導(dǎo)體新的制造技術(shù)，以突破對國內(nèi)高功率芯片用外延生長設(shè)備的封鎖。

費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人說：“我們的目標(biāo)就是兩到三年，做到以美國為首的國家對我們禁運(yùn)的這些設(shè)備，我們可以做到國產(chǎn)替代，三到五年，我們甚至可以做得比他們更好�！�

今后，費(fèi)勉儀器科技（上海）有限公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)將以做強(qiáng)民族高端儀器為己任,潛心研發(fā)，在自主創(chuàng)新道路上強(qiáng)力推進(jìn)，力爭在更多的瓶頸技術(shù)上實(shí)現(xiàn)突破。

（來源：上海寶山）

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